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Ausstattung Analyse

Oberflächenprofilometer "Bruker Dektak XT"

Das Profilometer tastet die Oberfläche mit einer Spitze ab. Rauigkeiten und Stufen können so vermessen werden

Spektroskopisches Ellipsometer "HORIBA Jobin Yvon UVISEL-NIR"

Ein Ellipsometer misst zerstörungsfrei Dicken transparenter Schichten. Linear polarisiertes Licht, unter einem Winkel auf das Schichtsystem eingestrahlt, wird an jeder Grenzfläche teils gebrochen, teils reflektiert. Die resultierende Reflektion des Gesamtsystems enthält nun Informationen aus allen Schichten und dem Substrat, wobei dieses reflektierte Licht jetzt elliptisch polarisiert ist. Mittels eines Modells des Systems werden die unbekannten Schichtparameter, in der Regel die Schichtdicken, gefittet.

Mikrospektrometer "A.S. & Co. PDA Vis" für Lichtmikroskope

Mit dem Mikrospektrometer können mikroskopisch kleine Proben untersucht werden. In Durchlicht oder Reflexion werden Absorptions- oder Transmissionsspektren aufgenommen, die zur Materialcharakterisierung beitragen.

Lichtmikroskope "Zeiss Axioskop 2 MAT"

Die optische Mikroskopie ist noch immer eine wichtige Methode zur Prozesskontrolle. Digitale Bildverarbeitung und moderne polarisationsoptische Verfahren ermöglichen maximale Information.

Energiedispersive Röntgenanalyse (EDX)

Die sogenannte "Energiedispersive Röntgenanalyse" (EDX) ist eine zerstörungsfreie Methode zur Elementbestimmung, die die bei der Elektronenmikroskopie auftretende Röntgenstrahlung analysiert. Diese ist charakteristisch für das chemische Element, das sie erzeugt. Somit läßt sich lokal die Elementzusammensetzung  – sowohl qualitativ als auch quantitativ – bestimmen. Durch die rasternde Führung des Elektronenstrahls können auch Linienscans und Mappings aufgenommen werden.

Höchstauflösendes Rasterelektronen-Mikroskop "Hitachi SU 8000" mit EDX

Rasterelektronenmikroskope (REM) sind heutzutage unverzichtbare Werkzeuge in der Nanotechnologie und Nanoanalytik. Bei einem REM wird ein monoenergetischer Elektronenstrahl zeilenförmig über eine Probe gelenkt. Die dabei von der Probe absorbierte Energie bewirkt eine Reihe von Effekten: Verschiedene Arten von gestreuten oder durch Ionisation aus der Probe herausgelösten Elektronen sowie Röntgenstrahlung werden erzeugt. Für die übliche Rasterelektronenmikroskopie werden aus diesen Wechselwirkungsprodukten die niederenergetischen Sekundärelektronen detektiert und dadurch ein hochaufgelöstes Bild der Oberfläche des Festkörpers erstellt.

Eine kalte Feldemissions-Kathode (CFEG) hat gegenüber einem Schottky-Emitter eine geringere Energiebreite und einen höheren Richtstrahlwert (Helligkeit) im Elektronenstrahl und ermöglicht dadurch eine bessere Fokussierbarkeit besonders bei niedrigen Beschleunigungsspannungen. Resultierend aus dem extrem kleinen Strahldurchmesser besonders bei niedrigen Beschleunigungsspannungen wird höchste Auflösung in Abbildung und Analytik (EDX) erzielt. Das EDX-System ist ein NS7 von Thermo Scientific.

Rasterkraftmikroskop "Park XE-70"

Rasterkraftmikroskope gehören zu den Rastersondenverfahren und tasten mit Hilfe von Cantilevern die Oberfläche einer Probe ab. Die Topographie wird dabei sowohl lateral aus auch horizontal abgebildet. Die Cantilever können im Kontakt- als auch im Nicht-Kontakt-Modus über die Oberfläche geführt werden. Es können Topographie- und Phasen-Bilder, Kraft-Abstands-Kurven und laterale Kräfte gemessen werden.