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Oberflächen-Profilometer "Bruker Dektak XT"

  • Oberflächenvermessung im Stylus-Verfahren
  • 0,03-15 mg Stylus-Kraft
  • Nanometergenaue Höhenauflösung
  • Höhenbereich max. 1 mm
  • Probengröße bis zu 200 mm Wafer, Bruchstücke
  • Probentisch x, y, R-Theta motorisiert
  • Scanlänge bis zu 50 mm
  • 3D-Analyse