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Spektroskopisches Ellipsometer "HORIBA Jobin Yvon UVISEL-NIR"

  • Spektralbereich: 190-2000 nm (0,62 - 6,53 eV)
  • Multi-Wellenlängeneinheit
  • Messprinzip: Photoelastischer Modulator, Frequenz: 50 kHz
  • automatisches Goniometer
  • x-y-Tisch motorisiert (Mapping-Option bis 200 mm Wafer)
  • Mikrospot (50 µm)-Option