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Spin- und Sprühbelacker "EVG 101"

  • Halb-automatisches Spin-coating von Proben bis zu 100 mm Durchmesser
  • Halb-automatische Sprühbelackung von Bruchstücken und Wafern bis 100 mm Durchmesser
  • homogene Belackung von topographierten Substraten
  • Spritzen-System mit zwei verschiedene Sprühköpfen für Standard-Photolacke, hochviskose Lacke (BCB) und PMMA

Co-Finanziert vom Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik (FhG-IPM), Terahertz-Messtechnik und Systeme