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Elektronenstrahl-Aufdampfanlage "Pfeiffer Classic 500 L"

  • Materialien: Al, Ag, Au, Ti, Cr, Cu, SiO2,  weitere nach Absprache
  • optional: Vorbehandeln der Proben mit Ar-Plasma
  • optional: Probenheizen mit Quarzstrahlern
  • optional: Ionenstrahl-unterstütztes Aufdampfen