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Hochvakuum-Beschichtungsanlage „Leica EM ACE600“

 

 

  • Deposition von unterschiedlichen Materialien zur Präparation von Rasterelektronenmikroskopie-Proben
  • 1 Sputterquelle mit Irdium Target für topographische Untersuchungen
  • 1 Kohlefaden-Verdampfer für topographische und EDX-Untersuchungen
  • Motorisierter Probentisch: Rotation, Translation und Verkippung der Proben
  • Integrierter Schwingquarz zur Schichtdickenbestimmung
  • Beschichtungsraten von < 1 nm