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Kantenpolierer „Hitachi Ion Milling System E-3500“

  • Argon-Ionenstrahl-Polierer
  • Zum Polieren von Bruchkanten von Proben für Rasterelektronenmikroskopie
  • Beschleunigungsspannung: 0 – 6 kV
  • Ionenstrom: 0 – 999 µA
  • Strahldurchmesser: 400 µm 
  • Maximale Ätzrate in Si: 100 µm/h
  • Maximale Probengröße: 20 mm x 12 mm x 5 mm