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Oxidationsofen "AVT PEO 603"

Man unterscheidet zwei Arten von thermischer Oxidation von Silizium: Die Trocken- und die Nassoxidation. Bei der Trockenoxidation werden die Wafer einer Temperatur ausgesetzt, während Sauerstoff durch die Kammer geleitet wird. Der Oxidationsprozess verläuft vergleichsweise langsam, das Oxid ist relativ dicht. Schneller, allerdings mit dem Ergebnis eines weniger dichten Oxides ist die Nassoxidation. Dabei wird dem Silizium Wasser als Sauerstoffträger angeboten, in unserem Falle in Form von Wasserdampf.

Prozesstemperaturen bis 1100°C können eingestellt werden.