Zur Hauptnavigation / To main navigation

Zur Sekundärnavigation / To secondary navigation

Zum Inhalt dieser Seite / To the content of this page

Sekundärnavigation / Secondary navigation

Inhaltsbereich / Content

FEI Helios Nanolab 650 - Spezifikationen

Elektronensäule:

  • Thermische Feldemissionsquelle
  • Elstar Elektronensäule mit 20 V bis 30 kV
  • Elektronenstrom von 0,8 pA bis 26 nA
  • Gegenspannung von -50 V bis 4 kV
  • Integrierte schnelle Strahlablenkung-/schaltung
  • Auflösung < 1 nm

Ionensäule:

  • Tomahawk Ionensäule mit 500 V bis 30 kV
  • Ionenstrom von 0,1 pA bis 65 nA bei 15 verschiedenen Blenden
  • „Time of flight“ Korrektur
  • Auflösung < 4 nm

Detektoren:

  • Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
  • hochauflösender In-lens-Detektor (TLD)
  • Ionen-Detektor (ICE)
  • STEM-Detektor
  • Detektor für hohen Materialkontrast (DBS)

Probentisch:

  • Maximale Probengröße: 6 Zoll-Wafer
  • Verfahrweg in XY: 150 mm
  • Verfahrweg in Z: 10 mm
  • Rotation: 360°
  • Verkippung: 0-52°

Ergänzende Module :

  • Gasinjektionssystem zur elektronen-/ionenunterstützen Deposition von Platin, Kohlenstoff oder Wolfram und chemisch unterstütztem Ätzen von Isolatoren und Halbleitern
  • Qxford Aztec Standard EDX-System
  • Raith Elphy Multibeam zum Schreiben komplexer Nanostrukturen
  • Diverse Analyse- und Präparationssoftware