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Abteilungsleiterin:

Dr.-Ing. Sandra Wolff
Geb.: 13a, Raum: 104
Tel.: 0631 205-4091
Email: wolff[at]physik.uni-kl.de

Elektronenstrahl-Lithographie:

Dr. Bert Lägel
Geb. 13, Raum:147
Tel.: 0631 205-4336
Email: laegel[at]physik.uni-kl.de

Fokussiertes Ionenstrahl-Schreiben/REM:

Dr. Thomas Löber
Geb. 13a, Raum 105
Tel.: 0631 205-4606
Email: loeber[at]physik.uni-kl.de

Techniker:

Christian Dautermann
Geb.: 13, Raum: 147
Tel.: 0631 205-4336
Email: dautermann[at]physik.uni-kl.de