Nano Structuring Center

Rasterelektronenmikroskop "Hitachi SU8000"

  • höchstauflösendes REM mit einer Auflösung von < 1,3 nm bei 1 kV
  •  kalter Feldemitter mit einem Probenstrom von 1 pA bis > 5 nA
  • 'triple' Elektronendetektor System (Lower/Upper/Top) für die Detektion von sekundär sowie rückgestreuten Elektronen
  • STEM Detektor mit Hellfeld/Dunkelfeld Blende
  • EDX-System ist ein NS7 von Thermo Scientific zur chemischen Analyse
  • Probengröße bis zu 6"
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