Nano Structuring Center

Ionenstrahl-Ätzanlage (IBE-RIBE) "Roth&Rau IonSys 500"

  • Probengröße: max. 100 mm Wafer, Bruchstücke
  • Ionenstrahldurchmesser 120 mm
  • Ionenenergie 100...2000 eV
  • Ionenstromdichte bis 1 mA/cm2
  • Gase: Ar, N2, SF6, CHF3
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