Nano Structuring Center

Plasmaverascher "Diener electronic PICO-UHP"

  • Plasmaerzeugung durch HF-Generator mit 13,54 MHz
  • Leistung bis 100 W
  • Kammervolumen 4 Liter
  • Probengröße max. 100 mm Durchmesser
  • Rezipient aus Quarzglas
  • Prozessdruck ca. 0,1-1 mbar
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