Oberflächen-Profilometer "Bruker Dektak XT"
- Oberflächenvermessung im Stylus-Verfahren
- 0,03-15 mg Stylus-Kraft
- Nanometergenaue Höhenauflösung
- Höhenbereich max. 1 mm
- Probengröße bis zu 200 mm Wafer, Bruchstücke
- Probentisch x, y, R-Theta motorisiert
- Scanlänge bis zu 50 mm
- 3D-Analyse