Leitung:

Prof. Dr. Philipp Pirro
Geb.: 56, Raum: 422
Tel.: 0631 205-4092
Email: ppirro(at)rptu.de

Technologieberatung/REM/Einweisungen:

Dr.-Ing. Sandra Wolff
Geb.: 76, Raum: 105
Tel.: 0631 205-4091
Email: sandra.wolff@rptu.de

Elektronenstrahl-Lithographie:

Dr. Bert Lägel
Geb. 76, Raum: 107
Tel.: 0631 205-4336
Email: blaegel@rptu.de

Fokussiertes Ionenstrahl-Schreiben/REM:

Dr. Thomas Löber
Geb. 76, Raum 111
Tel.: 0631 205-4606
Email: tloeber(at)rptu.de

Techniker:

Alexander Frick
Geb.: 76, Raum: 110
Tel.: 0631 205-4074
Email: africk(at)physik.uni-kl.de