Kantenpolierer „Hitachi Ion Milling System E-3500“
- Argon-Ionenstrahl-Polierer
- Zum Polieren von Bruchkanten von Proben für Rasterelektronenmikroskopie
- Beschleunigungsspannung: 0 – 6 kV
- Ionenstrom: 0 – 999 µA
- Strahldurchmesser: 400 µm
- Maximale Ätzrate in Si: 100 µm/h
- Maximale Probengröße: 20 mm x 12 mm x 5 mm