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Direkter Laserstrahl-Schreiber
Direkter Laserstrahl-Schreiber "Microtech LW405D"
Wellenlängen: 375 nm und 405 nm
Schreibfeld: 100 mm x 100 mm
Laser-Interferometer-Tisch mit 10 nm Auflösung
minimale Linenbreite: 0,6 µm
