Elektronenstrahl-Aufdampfanlage "Pfeiffer Classic 500 L"
- Materialien: Al, Ag, Au, Ti, Cr, Cu, SiO2, weitere nach Absprache
- optional: Vorbehandeln der Proben mit Ar-Plasma
- optional: Probenheizen mit Quarzstrahlern
- optional: Ionenstrahl-unterstütztes Aufdampfen