Hochvakuum-Beschichtungsanlage „Leica EM ACE600“
- Deposition von unterschiedlichen Materialien zur Präparation von Rasterelektronenmikroskopie-Proben
- 1 Sputterquelle mit Irdium Target für topographische Untersuchungen
- 1 Kohlefaden-Verdampfer für topographische und EDX-Untersuchungen
- Motorisierter Probentisch: Rotation, Translation und Verkippung der Proben
- Integrierter Schwingquarz zur Schichtdickenbestimmung
- Beschichtungsraten von < 1 nm