Elektronensäule:

• Thermische Feldemissionsquelle
• Elstar Elektronensäule mit 20 V bis 30 kV
• Elektronenstrom von 0,8 pA bis 26 nA
• Gegenspannung von -50 V bis 4 kV
• Integrierte schnelle Strahlablenkung-/schaltung
• Auflösung < 1 nm

Ionensäule:

• Tomahawk Ionensäule mit 500 V bis 30 kV
• Ionenstrom von 0,1 pA bis 65 nA bei 15 verschiedenen Blenden
• „Time of flight“ Korrektur
• Auflösung < 4 nm

Detektoren:

• Everhart-Thornley-Detektor (ETD)
• hochauflösender In-lens-Detektor (TLD)
• Ionen-Detektor (ICE)
• STEM-Detektor
• Detektor für hohen Materialkontrast (DBS)

Probentisch:

• Maximale Probengröße: 6 Zoll-Wafer
• Verfahrweg in XY: 150 mm
• Verfahrweg in Z: 10 mm
• Rotation: 360°
• Verkippung: 0-52°

Ergänzende Module :

• Gasinjektionssystem zur elektronen-/ionenunterstützen Deposition von Platin, Kohlenstoff oder Wolfram und chemisch unterstütztem Ätzen von Isolatoren und Halbleitern
• Qxford Aztec Standard EDX-System
• Raith Elphy Multibeam zum Schreiben komplexer Nanostrukturen
• Diverse Analyse- und Präparationssoftware