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Spektroskopisches Ellipsometer
Spektroskopisches Ellipsometer "HORIBA Jobin Yvon UVISEL-NIR"
Spektralbereich: 190-2000 nm (0,62 - 6,53 eV)
Multi-Wellenlängeneinheit
Messprinzip: Photoelastischer Modulator, Frequenz: 50 kHz
automatisches Goniometer
x-y-Tisch motorisiert (Mapping-Option bis 200 mm Wafer)
Mikrospot (50 µm)-Option