Spektroskopisches Ellipsometer "HORIBA Jobin Yvon UVISEL-NIR"
- Spektralbereich: 190-2000 nm (0,62 - 6,53 eV)
- Multi-Wellenlängeneinheit
- Messprinzip: Photoelastischer Modulator, Frequenz: 50 kHz
- automatisches Goniometer
- x-y-Tisch motorisiert (Mapping-Option bis 200 mm Wafer)
- Mikrospot (50 µm)-Option