• Halb-automatisches Spin-coating von Proben bis zu 100 mm Durchmesser
• Halb-automatische Sprühbelackung von Bruchstücken und Wafern bis 100 mm Durchmesser
• homogene Belackung von topographierten Substraten
• Spritzen-System mit zwei verschiedene Sprühköpfen für Standard-Photolacke, hochviskose Lacke (BCB) und PMMA

Co-Finanziert vom Fraunhofer Institut für Physikalische Messtechnik (FhG-IPM), Terahertz-Messtechnik und Systeme