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Plasmaverascher
Plasmaverascher "Diener electronic PICO-UHP"
Plasmaerzeugung durch HF-Generator mit 13,54 MHz
Leistung bis 100 W
Kammervolumen 4 Liter
Probengröße max. 100 mm Durchmesser
Rezipient aus Quarzglas
Prozessdruck ca. 0,1-1 mbar