Rasterelektronenmikroskop "Hitachi SU8000"
- höchstauflösendes REM mit einer Auflösung von < 1,3 nm bei 1 kV
- kalter Feldemitter mit einem Probenstrom von 1 pA bis > 5 nA
- 'triple' Elektronendetektor System (Lower/Upper/Top) für die Detektion von sekundär sowie rückgestreuten Elektronen
- STEM Detektor mit Hellfeld/Dunkelfeld Blende
- EDX-System ist ein NS7 von Thermo Scientific zur chemischen Analyse
- Probengröße bis zu 6"