Leitung:

Prof.-Dr. Georg von Freymann
Geb.: 56, Raum: 325
Tel.: 0631 205-5225
Email: georg.freymann(at)physik.uni-kl.de

Technologieberatung:

Dr.-Ing. Sandra Wolff
Geb.: 76, Raum: 105
Tel.: 0631 205-4091
Email: wolff(at)physik.uni-kl.de

Elektronenstrahl-Lithographie:

Dr. Bert Lägel
Geb. 76, Raum:107
Tel.: 0631 205-4336
Email: laegel(at)physik.uni-kl.de

Fokussiertes Ionenstrahl-Schreiben/REM:

Dr. Thomas Löber
Geb. 76, Raum 111
Tel.: 0631 205-4606
Email: loeber(at)physik.uni-kl.de

Techniker:

Alexander Frick
Geb.: 763, Raum: 110
Tel.: 0631 205-4074
Email: africk(at)physik.uni-kl.de